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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀檢測(cè)對(duì)象氣體：胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等
* 適合于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏 * 采用聲光報(bào)警
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀技術(shù)指標(biāo)：
檢測(cè)對(duì)象氣體
半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測(cè)原理
專(zhuān)線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動(dòng)吸引式
可檢測(cè)濃度 （單位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測(cè)表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以?xún)?nèi)
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